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检测圆光栅的光电定角比相法
作者单位:
长春光机所十六室检测组
摘 要:
一、引言圆光栅(或码盘)的分度误差是衡量其刻划水平的一项重要指标。光电定角比相法,就是检测圆光栅分度误差的一种动态检测方法。这种方法是我所于1970年年底试验成功并于1981年十月份通过所级鉴定的,专家们认为“在没有合适的光电检验仪的情况下,可用定角比相法动态检测圆光栅”。
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