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| 微透镜阵列的计量标准化 | |
| 引用本文： | 胡凯,蒋向前,刘晓军.微透镜阵列的计量标准化[J].计量技术,2009(9):13-16. |
| 作者姓名： | 胡凯 蒋向前 刘晓军 |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学机械学院仪器系,武汉,430074 2. 华中科技大学机械学院仪器系,武汉,430074;哈德斯菲尔德大学,英国哈德斯菲尔德HD1 3DH |
| 摘 要： | 分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法，介绍了最新的ISO14480系列标准。针对典型的微镜阵列元件，给出其详细结构尺寸，从而建立了一套通过测试元件的几何参量、加工误差来综合评估微光学元件性能的方法。 |
| 关 键 词： | 微光学元件 检测 几何参数 |
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