适于在线测量的激光位移传感器 |
| |
引用本文: | 袁道成,王洋.适于在线测量的激光位移传感器[J].计量技术,2002,24(5):3-6. |
| |
作者姓名: | 袁道成 王洋 |
| |
作者单位: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,绵阳621900 |
| |
基金项目: | 中国工程物理研究院科学基金资助项目 |
| |
摘 要: | 介绍一种新的共光轴激光非接触位移传感器 ,具有克服安装倾斜、表面纹理变化不利影响的特点 ;利用光学球差光学平均改善光斑分布均匀性 ;其微小的光触针 (1μm)以及高速绝对测量的优点适合于曲 (线 )面的快速测量以及在线测量。
|
关 键 词: | 激光 位移传感器 表面纹理 光学平均 |
A Laser Displacement Transducer Applicable to On-line Measurement |
| |
Abstract: | |
| |
Keywords: | |
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录! |
|