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适于在线测量的激光位移传感器
引用本文:袁道成,王洋.适于在线测量的激光位移传感器[J].计量技术,2002,24(5):3-6.
作者姓名:袁道成  王洋
作者单位:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,绵阳621900
基金项目:中国工程物理研究院科学基金资助项目
摘    要:介绍一种新的共光轴激光非接触位移传感器 ,具有克服安装倾斜、表面纹理变化不利影响的特点 ;利用光学球差光学平均改善光斑分布均匀性 ;其微小的光触针 (1μm)以及高速绝对测量的优点适合于曲 (线 )面的快速测量以及在线测量。

关 键 词:激光  位移传感器  表面纹理  光学平均

A Laser Displacement Transducer Applicable to On-line Measurement
Abstract:
Keywords:
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