晶体表面波温度传感器

本文介绍二种新型的接触式晶体表面波温度传感器。采用ＹＺ－ＬｉＮｂＯ３单晶和 （１１０）＜００１＞－Ｂｉ１２ＧｅＯ２０单晶制作了延迟线型和振子型温度传感器。实验器件的中心 频率在２０～５５兆赫之间，相对灵敏度８０～１１５ｐｐｍ／℃。给出了实测的频率温度特性 曲线，在－４０～＋ ８５℃温度范围内具有良好的线性关系。输出为数字信息，可直接 进行数据处理。这类传感器件用在温度遥测和遥控方面是极有前途的。