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| 扫描电子声显微镜的基本原理及应用 | |
| 作者姓名： | 钱梦騄 |
| 作者单位： | 同济大学声学研究所 |
| 摘 要： | 在扫描电子显微镜中的聚焦电子束强段若以频率f调制,在试样内由于非弹性散射初级电子将偿失能量而在试样内形成一突变热源,并由此而激发出相应的应力波,通过与试样相耦合的压电换能器检测该声波,并输出信号到适当的检测系统,就可以得到试样亚表面的像。本文将简要介绍扫描电子声显微镜的原理及其对一些试样的检测结果。扫描电子声显微镜的基本原理及应用@钱梦騄$同济大学声学研究所 |
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