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| 超高纯气体纯度保持法 | |
| 引用本文： | 柏田邦夫,藤田秀毅,王玉杰,李文洙.超高纯气体纯度保持法[J].低温与特气,1987(2):56-58. |
| 作者姓名： | 柏田邦夫 藤田秀毅 王玉杰 李文洙 |
| 作者单位： | 不详 |
| 摘 要： | 本发明论述的是有关使充装在钢瓶中的纯度为99．999％及其以上的超纯气体或液化气体，为使其纯度不降低而保存，以及在间断或连续使用时，保持其纯度不变的方法。 |
| 关 键 词： | 气体纯度 超高纯 液化气体 超纯气体 充装 |
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