| 电子气体净化器现状与趋势 |
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| 引用本文： | 叶向荣,陈刚,周黎旸.电子气体净化器现状与趋势[J].低温与特气,2015(2):1-6. |
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| 作者姓名： | 叶向荣 陈刚 周黎旸 |
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| 作者单位： | 1. 浙江巨化股份有限公司，浙江衢州 324004; 浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室，浙江321004
2. 浙江巨化股份有限公司,浙江衢州,324004 |
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| 摘 要： | 电子气体净化器是对电子气体进行在线净化,使主要杂质含量由10-6级降低到10-9、10-12级的关键纯化装置。与电子气体一样,同属我国亟待发展的战略资源与关键技术。从技术和市场角度,对电子气体净化器国内外现状和发展做总体性概括、介绍和展望。
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| 关 键 词： | 净化器 电子气体 在线净化 净化材料 痕量杂质 |
Current Status And Trend of Electronic Gas Purifiers |
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| YE Xiangrong,CHEN Gang,ZHOU Liyang.Current Status And Trend of Electronic Gas Purifiers[J].Low Temperature and Specialty Gases,2015(2):1-6. |
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| Authors: | YE Xiangrong CHEN Gang ZHOU Liyang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | purifier electronic gas online purification purification media trace impurity |
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