| 八氟环丁烷的纯化技术研究进展 |
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| 引用本文： | 缪光武,张金柯,白占旗,何双材,胡欣,曾群,杜肖宾,刘武灿,张波.八氟环丁烷的纯化技术研究进展[J].低温与特气,2019,37(1):1-5. |
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| 作者姓名： | 缪光武 张金柯 白占旗 何双材 胡欣 曾群 杜肖宾 刘武灿 张波 |
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| 作者单位： | 浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023;浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023;浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023;浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023;浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023;浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023;浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023;浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023;浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州,310023 |
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| 摘 要： | 随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻。总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点。在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷。此外,应不断开发新型、高效电子气体纯化技术,促进我国电子气体行业的发展。
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| 关 键 词： | 八氟环丁烷 纯化技术 电子气体 |
Progress in Purification of Octafluorocyclobutane |
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| MIAO Guangwu,ZHANG Jinke,BAI Zhanqi,HE Shuangcai,HU Xin,ZENG Qun,DU Xiaobin,LIU Wucan,ZHANG Bo.Progress in Purification of Octafluorocyclobutane[J].Low Temperature and Specialty Gases,2019,37(1):1-5. |
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| Authors: | MIAO Guangwu ZHANG Jinke BAI Zhanqi HE Shuangcai HU Xin ZENG Qun DU Xiaobin LIU Wucan ZHANG Bo |
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| Affiliation: | (Zhejiang Research Institute of Chemical Industry,Hangzhou 310023,China) |
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| Abstract: | MIAO Guangwu;ZHANG Jinke;BAI Zhanqi;HE Shuangcai;HU Xin;ZENG Qun;DU Xiaobin;LIU Wucan;ZHANG Bo(Zhejiang Research Institute of Chemical Industry,Hangzhou 310023,China) |
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| Keywords: | octafluorocyclobutane purification electronic gas |
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