高纯硅烷中痕量CO、CO2、H2O转化色谱分析

本文叙述高纯SiH4中痕量杂质的转化色谱分析条件，装置及流程。通过弱极性有机担体柱有效地将硅烷中ppm级杂质与主组份分离，分离后的主组份经氢气氛下高温还原和电石转化生成烃类，送FID高灵敏检测，当进样量为1毫升，记录仪为1毫伏（250毫米）时，本试验所得灵敏度；CO，0.15vpm/mm；CH4，0.08vpm/mm(j样品直接送FID检测灵敏度)；CO2，0.5vpm/mm3H2O，0.3vpm/mm。同时确定了较满意的分析操作参数，提出了相应的分析流程。