| 乙二胺在单晶硅太阳能电池表面制绒中的应用 |
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| 引用本文： | 沈凯,满石清.乙二胺在单晶硅太阳能电池表面制绒中的应用[J].材料导报,2012,26(12):16-18,21. |
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| 作者姓名： | 沈凯 满石清 |
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| 作者单位： | 暨南大学电子工程系,广州,510632 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，广东省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 利用乙二胺(Ethylenediamine anhydrous,EDA)/异丙醇(Isopropyl alcohol,IPA)体系对单晶硅(100)面进行了各向异性腐蚀,研究了不同温度、不同反应时间条件下单晶硅表面的绒面结构和表面反射率。利用EDA/IPA体系得到的金字塔结构尺寸为8μm左右,但均匀性较差。在1.5%EDA、5%IPA体系中添加5%Na2SiO3,80℃反应15min后获得了平均反射率为11%、表面金字塔结构均匀且尺寸较小的单晶硅绒面。实验结果表明,Na2SiO3的引入使金字塔的尺寸从8μm左右降低至3μm左右,并且均匀度也得到改善。
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| 关 键 词： | 硅制绒 乙二胺 各向异性腐蚀 太阳能电池 |
Application of Ethylenediamine Anhydrous in Texturing of Monocrystalline Silicon for Solar Cell |
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| SHEN Kai
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MAN Shiqing.Application of Ethylenediamine Anhydrous in Texturing of Monocrystalline Silicon for Solar Cell[J].Materials Review,2012,26(12):16-18,21. |
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| Authors: | SHEN Kai MAN Shiqing |
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| Affiliation: | (Department of Electronic,Jinan University,Guangzhou 510632) |
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