| 压电厚膜的研究现状及趋势 |
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| 引用本文： | 熊龙宇,姜胜林,曾亦可,张海波,王青萍.压电厚膜的研究现状及趋势[J].材料导报,2009,23(9). |
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| 作者姓名： | 熊龙宇 姜胜林 曾亦可 张海波 王青萍 |
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| 作者单位： | 华中科技大学电子科学与技术系教育部敏感陶瓷工程研究中心,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 随着电子元器件向小型、高灵敏、集成、多功能化方向发展,薄/厚膜材料及器件逐渐成为研究的重点.由于压电厚膜(10～100μm)兼具有压电陶瓷与压电薄膜的优点,是各种微型传感器和执行器的核心部分,已引起世界各国研究者极大的兴趣,但是大多数研究还处于实验阶段.评述了压电厚膜的制备方法、测试表征以及应用状况,归纳了压电厚膜研究的现状及发展趋势,指出了其中存在的问题及解决办法,并对压电厚膜今后的研究提出了一些建议.
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| 关 键 词： | 压电厚膜 压电测试 压电器件 |
Status and Future Trend of Piezoelectric Thick Films |
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| XIONG Longyu,JIANG Shenglin,ZENG Yike,ZHANG Haibo,WANG Qingping.Status and Future Trend of Piezoelectric Thick Films[J].Materials Review,2009,23(9). |
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| Authors: | XIONG Longyu JIANG Shenglin ZENG Yike ZHANG Haibo WANG Qingping |
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| Affiliation: | XIONG Longyu,JIANG Shenglin,ZENG Yike,ZHANG Haibo,WANG Qingping(Department of Electronic Science , Technology,Engineering Research Centre for Functional Ceramics MOE Huazhong University of Science , Technology,Wuhan 430074) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric thick films piezoelectric performance measurement piezoelectric thick film device |
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