| 柔性衬底上AZO薄膜的附着力特性研究 |
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| 引用本文： | 曹培江,赖国霞,柳文军,贾芳,朱德亮,马晓翠,吕有明.柔性衬底上AZO薄膜的附着力特性研究[J].材料导报,2011,25(18). |
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| 作者姓名： | 曹培江 赖国霞 柳文军 贾芳 朱德亮 马晓翠 吕有明 |
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| 作者单位： | 1. 深圳大学材料学院深圳市传感器技术重点实验室,深圳518060;深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳518060
2. 深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳,518060 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60976036); 深圳市产学研科技合作项目(08cxy-28); 深圳市科技计划项目(200604200706ZYC;200903250140A); 深圳市南山区科技研发资金项目(南科院2008012;2009040); 深圳市传感器技术重点实验室开放基金(SST201003) |
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| 摘 要： | 使用脉冲激光沉积(PLD)方法在柔性衬底PMMA和PET上制备了具有高c轴择优取向的AZO(ZnO∶Al)薄膜。通过X射线衍射(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)和纳米划痕仪,研究了在不同衬底下生长的薄膜样品的晶体结构、光学性能和附着力。结果表明,两种柔性衬底上生长的AZO薄膜都是单一的ZnO六方相,可见光范围内光学透过率均大于85%;PMMA、PET衬底上AZO薄膜的临界载荷数值分别为31.31mN和16.97mN,PET衬底上ITO薄膜的临界载荷数值为40.55mN。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 脉冲激光沉积 附着力 |
Study on the Adhesion Properties of AZO Thin Films Grown on Flexible Substrates |
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| CAO Peijiang,LAI Guoxia,LIU Wenjun,JIA Fang,ZHU Deliang,MA Xiaocui,LU Youming.Study on the Adhesion Properties of AZO Thin Films Grown on Flexible Substrates[J].Materials Review,2011,25(18). |
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| Authors: | CAO Peijiang LAI Guoxia LIU Wenjun JIA Fang ZHU Deliang MA Xiaocui LU Youming |
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| Affiliation: | CAO Peijiang1,2,LAI Guoxia2,LIU Wenjun2,JIA Fang2,ZHU Deliang2,MA Xiaocui2,LU Youming2(1 Shenzhen Key Laboratory of Sensor Technology,College of Materials Science and Engineering,Shenzhen University,Shenzhen 518060,2 Shenzhen Key Laboratory of Special Functional Materials,Shenzhen 518060) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AZO thin films pulsed laser deposition adhesion strength |
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