铅离子注入对玻璃表面ITO膜性能的影响

采用离子注入技术将铅离子注入到ＩＴＯ薄膜玻璃中，用分光光度计，四探针测试仪，硬度计等测定了ＩＴＯ膜注入前后的光学性能，电学性能、机械性能和化学稳定性。结果表明注入后光学、电学性能有所下降，而机械性能和化学稳定性有明显提高。这说明离子注入提高ＩＴＯ薄膜玻璃的耐磨损性和在有腐蚀性气氛下的稳定性。