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| AZO靶材的制备与镀膜应用研究 | |
| 作者姓名： | 卢世刚 孙静 段华英 王星明 白雪 石志霞 黄松涛 |
| 摘 要： | 以ZnO和Al2O3粉体为原料，在不同的热压温度下制备AZO靶材。通过阿基米德法测量靶材的密度，压汞法测量靶材的孔径分布，扫描电镜观察靶材的断面形貌。将所制备的靶材作为溅射源，进行射频磁控镀膜测试。采用台阶仪测量膜厚，紫外分光光度计测量薄膜透光率，四探针电阻图谱仪测量薄膜电阻率，XRD分析薄膜结构，研究靶材密度及孔径分... |
| 关 键 词： | AZO靶材 热压 薄膜 溅射 |
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