| 气敏传感器的发展 |
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| 引用本文： | 陈长庆,胡明,吴霞宛.气敏传感器的发展[J].材料导报,2003,17(1):33-35. |
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| 作者姓名： | 陈长庆 胡明 吴霞宛 |
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| 作者单位： | 天津大学电信学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 综合介绍了气敏传感器的种类及其近期的发展以及MEMS技术对气敏传感器的推动，并着重对声表面波（SAW)气敏传感器及石英微天平（QCM)气敏传感器的结构、工作原理和涂层材料作了详细的介绍。
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| 关 键 词： | MEMS 声表面波 石英微天平 气敏传感器 废气监测 原理 结构 涂层材料 |
Development of Gas-sensitive Sensor |
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| CHENG Changqing HU Ming WU Xiawan.Development of Gas-sensitive Sensor[J].Materials Review,2003,17(1):33-35. |
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| Authors: | CHENG Changqing HU Ming WU Xiawan |
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| Abstract: | Some aspects of gas sensors are discussed in this paper,including their types,recent developments
and effects of MEMS on gas sensors.The structure,principle and coating material of SAW and QCM gas senors are presented in detail. |
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| Keywords: | MEMS SAW QCM gas sensor |
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