"金刚石涂层技术"成果简介 |
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引用本文: | 张志明."金刚石涂层技术"成果简介[J].材料导报,2001,15(2):25-25. |
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作者姓名: | 张志明 |
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作者单位: | 上海交通大学微电子技术研究所 上海 |
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摘 要: | “863”新材料领域项目金刚石涂层技术包含了涂层刀具和涂层拉丝模二部分研究工作,这些研究工作同时得到了上海市科技发展基金的资助。 以氢气和丙酮(或乙醇)为原料,采用化学气相法(简称CVD法)在硬质合金(WC-Co)刀具表面或拉丝模内孔涂覆一层金刚石薄膜,就可制备得到金刚石涂层刀具或涂层拉丝模。金刚石涂层呈多晶状,厚10~30μm,它具有硬度高、导热性好、抗冲击、自润滑性能好、化学性能稳定等特点。我们研制的涂层刀具,其抗冲击性能优于PCD刀具,与硬质合金刀具相近,特别适用于非
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关 键 词: | 金刚石涂层技术 金刚石薄膜 化学气相沉积 刀具 金属表面处理 |
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