椭偏法研究硫化锌薄膜的中红外光学特性 |
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引用本文: | 王者,肖峻,马孜.椭偏法研究硫化锌薄膜的中红外光学特性[J].材料导报,2015(1):93-97. |
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作者姓名: | 王者 肖峻 马孜 |
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摘 要: | 采用电子束蒸发法在K9玻璃衬底上分别制备了设计厚度为115nm、467nm、652nm的硫化锌薄膜,分别记为A、B、C;采用椭偏法研究薄膜的光学特性。对薄膜A、B、C进行Brendel振予拟合,根据ZnS薄膜特性及成膜特点,建立模型“基底(K9玻璃)/有效介质层(50%K9玻璃及50%ZnS)/ZnS薄膜/表面粗糙层(...
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关 键 词: | 薄膜 光学常量 椭偏法 ZNS 薄膜厚度 |
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