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椭偏法研究硫化锌薄膜的中红外光学特性
引用本文:王者,肖峻,马孜.椭偏法研究硫化锌薄膜的中红外光学特性[J].材料导报,2015(1):93-97.
作者姓名:王者  肖峻  马孜
摘    要:采用电子束蒸发法在K9玻璃衬底上分别制备了设计厚度为115nm、467nm、652nm的硫化锌薄膜,分别记为A、B、C;采用椭偏法研究薄膜的光学特性。对薄膜A、B、C进行Brendel振予拟合,根据ZnS薄膜特性及成膜特点,建立模型“基底(K9玻璃)/有效介质层(50%K9玻璃及50%ZnS)/ZnS薄膜/表面粗糙层(...

关 键 词:薄膜  光学常量  椭偏法  ZNS  薄膜厚度
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