| 反置结构ZnO微米级圆晶的制备和性能研究 |
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| 引用本文： | 王古平,付亚波,李志刚,刘彦平. 反置结构ZnO微米级圆晶的制备和性能研究[J]. 材料导报, 2014, 28(20): 80-83 |
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| 作者姓名： | 王古平 付亚波 李志刚 刘彦平 |
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| 作者单位： | 台州学院物理与电子工程学院,台州,318000 |
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| 基金项目： | 浙江省公益性技术应用研究项目，浙江省自然科学基金一般项目，台州市市级科技资金项目，校培育基金项目，横向课题 |
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| 摘 要： | 利用全自动化功能磁控溅射技术在硅/PS(聚苯乙烯)胶体球模板上制备了具有室温铁磁性和紫外发光特性的两种ZnO微米级圆晶。采用SEM、XRD、PL和VSM对样品进行了表征。结果表明:在PS胶体球去除方法上采用略有不同工艺制备的六边形和反置六边形结构ZnO微米级圆晶均具有(002)择优取向,晶粒大小分别为21.7nm和26.5nm,应力分别为3.26×109 Pa和-1.21×109 Pa,均出现361nm和444nm两个发光峰。两种结构ZnO阵列的铁磁性有所不同,可能是缺陷不同引起的。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 氧化锌 倒置结构 光致发光 室温铁磁性 |
Fabrication and Performances of Inverted Structure ZnO Micro Die |
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| WANG Guping,FU Yabo,LI Zhigang,LIU Yanping. Fabrication and Performances of Inverted Structure ZnO Micro Die[J]. Materials Review, 2014, 28(20): 80-83 |
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| Authors: | WANG Guping FU Yabo LI Zhigang LIU Yanping |
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| Affiliation: | WANG Guping;FU Yabo;LI Zhigang;LIU Yanping;College of Physics and Electronics Engineering,Taizhou University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering ZnO inverted structure photoluminescence room-temperature ferromagnetism |
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