| 脉冲激光沉积法制备β-BBO薄膜 |
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| 引用本文： | 刘军芳,徐军,姚武.脉冲激光沉积法制备β-BBO薄膜[J].材料导报,2007,21(1):140-142. |
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| 作者姓名： | 刘军芳 徐军 姚武 |
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| 作者单位： | 1. 同济大学材料科学与工程学院,上海,200092
2. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光沉积法、选取β-BBO陶瓷作为靶材在掺在Sr2 的α-BBO(001)衬底上进行了生长β-BBO薄膊膜的实验,生长出表面光滑、无色透明的薄膜.采用X射线粉末衍射(XRD)、高分辨X射线衍射仪(XRC)对薄膜进行了分析测试,结果表明,所制备的β-BBO薄膜择优取向为(00l)面,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000“左右,显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量,其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190 nm,但薄膜的透过率略有下降.采用调Q脉冲Nd:YAG激光器观察了β-BBO薄膜的倍频效应.
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 β-BBO薄膜 |
Growth of β-BBO Thin Films by Pulsed Laser Deposition |
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| LIU Junfang,XU Jun,YAO Wu.Growth of β-BBO Thin Films by Pulsed Laser Deposition[J].Materials Review,2007,21(1):140-142. |
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| Authors: | LIU Junfang XU Jun YAO Wu |
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| Affiliation: | 1 College of Materials Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092; 2 Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Science, Shanghai 201800 |
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