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| 气敏元件的技术改造—薄膜气敏元件的开发 | |
| 作者姓名： | 王玉青 李亚楠 姜维宾 宋树良 裘南畹 |
| 作者单位： | 济南铁道职业技术学院;济南半导体研究所 |
| 摘 要： | 简要叙述了气敏元件技术改造的情况,介绍了研制薄膜气敏元件的工艺流程和芯片结构以及我们已研制出的薄膜元件(SnO2,ZnO,Fe2O3,TiO2,ZnSnO3)的气敏特性和温耗特性。 |
| 关 键 词： | 薄膜元件 气敏特性 热功耗特性 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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