| 垂直耦合悬空型氮化硅微盘光学传感器 |
| |
| 引用本文： | 冉纲林,顾昌林,仲路铭,张福领,武腾飞,冯吉军.垂直耦合悬空型氮化硅微盘光学传感器[J].计测技术,2019,39(4). |
| |
| 作者姓名： | 冉纲林 顾昌林 仲路铭 张福领 武腾飞 冯吉军 |
| |
| 作者单位： | 河南速达电动汽车科技有限公司,河南 三门峡,472000;上海理工大学 光电信息与计算机工程学院 上海市现代光学系统重点实验室,上海,200093;中国电子科技集团公司第二十七研究所,河南 郑州,450047;航空工业北京长城计量测试技术研究所,北京,100095 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;上海市自然科学基金;上海市青年科技启明星计划;上海市高等学校特聘教授(东方学者)岗位计划 |
| |
| 摘 要： | 提出了一种垂直耦合型悬空氮化硅微盘谐振型传感器,该传感器由一个底部非悬空的接入波导和一个顶部悬空的微盘腔组成,并用实验证明了其具有较高的器件灵敏度和良好的机械稳定性。对于半径40μm的微盘,在1548. 98 nm谐振波长下可以实现超过104的品质因数以及大小适中、5. 66 nm的自由光谱范围。该传感器的灵敏度可通过覆盖不同的有机液体来测量,实验测得值约为554 nm/RIU。该三维传感器的制备与传统的光刻工艺相兼容,利于大批量低成本生产,同时凭借器件尺寸小、工艺简单、检测灵敏度高、响应快、免标记等特点,在国防安全、生物检测和环境监测等方面具有广阔的应用前景。
|
| 关 键 词： | 光学微腔 悬空型微盘 集成光学 传感器 |
Vertically Coupled Suspended Silicon Nitride Microdisk Based Optical Sensor |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Optical Microcavity Suspended Microdisk Integrated Photonics Sensors |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《计测技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《计测技术》下载全文 |
|
