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| ZnO薄膜的晶体性能的分析 | |
| 引用本文： | 李剑光,汪雷.ZnO薄膜的晶体性能的分析[J].真空科学与技术,1999,19(5):349-352. |
| 作者姓名： | 李剑光 汪雷 |
| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室 |
| 摘 要： | 在硅基上制备了ｃ轴取向高度一致的ＺｎＯ薄膜，这将有可能成为新型ＧａＮ单晶薄膜的过渡层，对ＺｎＯ薄膜的晶体性能了进行了分析，研究了不同衬底和不同衬底温度对ＺｎＯ薄膜的结晶状况的影响，并着重用ＴＥＭ研究了硅基ＺｎＯ薄膜的晶体性能。 |
| 关 键 词： | 晶体 性能 过渡层 氧化锌 薄膜 |
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