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| 三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究 | |
| 引用本文： | 丁洪斌,刘佳宏.三级差分抽气分子束质谱装置的设计和研究[J].真空科学与技术,1999,19(2):128-133. |
| 作者姓名： | 丁洪斌 刘佳宏 |
| 作者单位： | 大连理工大学等离子体物理化学实验室 |
| 摘 要： | 研制了具有三级涡轮分子泵差分抽气系统的分子束质谱装置，该装置在１３３００Ｐａ典型气体采样压力下，三级差分抽气区的压力分别达到５×１０＾－１，３×１０＾－３，１．２×１－＾－４Ｐａ。利用该装置，已成功地实现了对活性离子物种Ｎ＾＋和Ｎ２＾＋的“原位”检测。 |
| 关 键 词： | 原位取样 离子检测 分子束质谱 三级差分抽气 |
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