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| 超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系 | |
| 引用本文： | 白雪冬,黄荣芳.超薄Al膜可见光光学特性与其特征尺寸的关系[J].真空科学与技术,1999,19(2):108-110. |
| 作者姓名： | 白雪冬 黄荣芳 |
| 作者单位： | 中国科学院金属研究所 |
| 摘 要： | 利用ＷＦＺ９００－Ｄ４型紫外／可见光分光光度计，测量了磁控溅射超薄Ａｌ膜的可见光反射比和透射比。采用牛顿－辛普森方法确定超薄Ａｌ膜光学函数，进而计算其介电函数，得到了它们随膜层厚变化的关系。结果表明，不同特征尺寸的薄膜，具有不同的电磁特性参数。 |
| 关 键 词： | 光学函数 介电函数 超薄铝膜 特征尺寸 薄膜 |
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