ZnO/SnO2,SnO2/ZnOUPF复合膜的制备及气敏特性研究 |
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引用本文: | 王声乐,庞世瑾.ZnO/SnO2,SnO2/ZnOUPF复合膜的制备及气敏特性研究[J].真空科学与技术,1995,15(4):215-220. |
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作者姓名: | 王声乐 庞世瑾 |
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摘 要: | 用直流气体放电活化反应蒸发沉积技术在普通玻璃基片上制备了ZnO/SnO2及SnO2/ZnO超微粒子(UPF)双层复合薄膜。样品经扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍仪分析,结论为超微凿子的复合薄。同时提出了最佳制备工艺。气敏测试结果表明:ZnO/SnO2及SnO2/ZnO UPF复合膜较单层ZnO及SnO2UPF表现出优良的选择性,其灵敏度和最佳工作温度也得到相应的改善。
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关 键 词: | 双层薄膜 赶微粒子膜 选择性 灵敏度 |
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