Ti—B超硬薄膜的合成及其显微结构和显微硬度的研究

采用离子束增强沉积方法，在ｐ型单晶硅衬底上，通过不同能量的氙离子辅助轰击，以不同的沉积速率制备了Ｔｉ－Ｂ超硬薄膜。Ｘ射线衍射分析结果表明，Ｔｉ－Ｂ薄膜呈ＴｉＢｘ多晶结构，其晶化程度蒸发速率的不同而变化，而其缺位值ｘ随氙离子轰击能量的不同而变化。