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金刚石声表面波器件的研究与进展
引用本文:陈菁菁,李冬梅,潘峰.金刚石声表面波器件的研究与进展[J].真空科学与技术,2003,23(6):417-424,428.
作者姓名:陈菁菁  李冬梅  潘峰
作者单位:清华大学材料系,先进材料教育部重点实验室,北京100084
摘    要:高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波(SAW)器件需求的不断增大。金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性,因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注。本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法,讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展,包括理论研究与实验进展的概况,并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势。

关 键 词:金刚石  高频声表面波器件  压电薄膜  无线通讯系统  SAW
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