金刚石声表面波器件的研究与进展 |
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引用本文: | 陈菁菁,李冬梅,潘峰.金刚石声表面波器件的研究与进展[J].真空科学与技术,2003,23(6):417-424,428. |
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作者姓名: | 陈菁菁 李冬梅 潘峰 |
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作者单位: | 清华大学材料系,先进材料教育部重点实验室,北京100084 |
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摘 要: | 高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波(SAW)器件需求的不断增大。金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性,因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注。本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法,讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展,包括理论研究与实验进展的概况,并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势。
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关 键 词: | 金刚石 高频声表面波器件 压电薄膜 无线通讯系统 SAW |
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