光刻胶灰化用于全息离子束刻蚀光栅制作 |
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引用本文: | 徐向东,洪义麟,傅绍军.光刻胶灰化用于全息离子束刻蚀光栅制作[J].真空科学与技术,2003,23(5):362-364,372. |
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作者姓名: | 徐向东 洪义麟 傅绍军 |
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作者单位: | [1]同济大学物理系,上海200092 [2]中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥230029 |
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摘 要: | 针对全息离子束刻蚀衍射光栅制作中,光刻胶光栅浮雕图形的制作是至关重要和困难的,引入伤反应离子刻蚀对光刻胶光栅进行灰化处理,给出光刻胶灰化技术在全息离子束刻蚀衍射光栅制作闪耀光栅、浅槽矩形位相光栅、自支撑透射光栅中的具体应用。实验结果表明,这一新工艺的突出优点是降低了苛刻的全息曝光、显影要求,使得光栅线条光滑、线空比和槽深可控。
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关 键 词: | 光刻胶灰化 离子束刻蚀 衍射光栅 |
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