| 聚乙烯薄膜表面沉积纳米SiO_x涂层的阻隔性能 |
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| 引用本文： | 桑利军,王敏,陈强,刘忠伟,王正铎.聚乙烯薄膜表面沉积纳米SiO_x涂层的阻隔性能[J].中国表面工程,2015,28(3):36-41. |
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| 作者姓名： | 桑利军 王敏 陈强 刘忠伟 王正铎 |
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| 作者单位： | 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室,北京,102600 |
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| 摘 要： | 为了提高药品包装用聚乙烯(PE)薄膜的阻隔性能,利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以氧气(O2)和六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为氧化性气体和硅源单体,在PE薄膜表面沉积一层纳米厚度的柔性SiOx涂层。采用傅里叶变换红外吸收光谱、原子力显微镜和气体透过率测试仪对SiOx涂层的化学结构成分、表面微观形貌和气体阻隔性能进行表征。结果表明:SiOx涂层的化学结构和表面形貌对其阻隔性能有显著的影响。沉积工艺参数对SiOx涂层的阻隔性能起到了至关重要的作用。经过参数优化后制备的SiOx涂层可以有效地提高PE薄膜对氧气的阻隔性能,当射频功率为50 W,氧气和六甲基二硅氧烷的比例为2∶1,沉积气压为20Pa时制备的SiOx涂层的透氧值可从原膜的3 000mL/(m2·d)降低到30mL/(m2·d),对氧气的阻隔率可以提高100倍。
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| 关 键 词： | 射频等离子体 SiOx涂层 PE薄膜 气体透过率 |
Barrier Properties of SiOx Coatings Deposited on Polyethylene Films |
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| SANG Lijun,WANG Min,CHEN Qiang,LIU Zhongwei,WANG Zhengduo.Barrier Properties of SiOx Coatings Deposited on Polyethylene Films[J].China Surface Engineering,2015,28(3):36-41. |
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| Authors: | SANG Lijun WANG Min CHEN Qiang LIU Zhongwei WANG Zhengduo |
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| Affiliation: | Laboratory of Plasma Physical and Material, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ratio frequency plasma SiOx coatings polyethylene film gas permeability |
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