| 超精密静压支承部件及其在超精密加工机床的应用 |
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| 引用本文： | 胡秋,夏仰球,米良,李梦阳.超精密静压支承部件及其在超精密加工机床的应用[J].机床与液压,2015,43(22):4-6. |
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| 作者姓名： | 胡秋 夏仰球 米良 李梦阳 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室重点资助项目（K855；K856） |
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| 摘 要： | 超精密加工技术与装备在近年得到极大发展。超精密静压部件是超精密加工装备关键共性部件。以平面气体静压支承为例，介绍了静压支承基本工作原理。对超精密液体/气体静压主轴、导轨和转台的结构特点、技术特性、应用场合作了较全面的介绍；以典型超精密加工机床为例，介绍静精密静压主轴、导轨和转台在超精密加工机床中的应用。
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| 关 键 词： | 静压支承 超精密静压部件 超精密加工机床 应用 |
Ultra Precision Hydrostatic Bearing Components and Its Application in Ultra Precision Machine Tools |
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