| 一种用于太赫兹波扫描成像的X_Y扫描台设计与实现 |
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| 引用本文： | 张延波,杨传法,王忠民,徐文青,张献生.一种用于太赫兹波扫描成像的X_Y扫描台设计与实现[J].机床与液压,2018,46(19):72-75. |
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| 作者姓名： | 张延波 杨传法 王忠民 徐文青 张献生 |
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| 作者单位： | 齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院自动化研究所山东省科学院超宽带与太赫兹技术培育性重点实验室 |
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| 基金项目： | 山东省重点研发计划(2017GGX10124)；山东省重点研发计划(2016GGX101010)；山东省科学院创新工程专项资助项目〖ZK）〗 |
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| 摘 要： | 针对太赫兹波扫描成像系统要求,在"步进电机+丝杠螺母"传动机构基础上加入光栅尺作为反馈元件,设计一种位置闭环控制的X_Y扫描台。选用上位机和运动控制卡作为扫描台控制系统核心,采用VC++6. 0语言,利用运动函数库开发扫描控制软件,实现扫描参数配置、扫描轨迹生成、运动控制等功能模块,完成扫描台定点、连续运动。实验结果表明:扫描台稳定可靠,定位误差控制在0. 05 mm以内,满足了太赫兹波扫描成像定位需求。
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| 关 键 词： | 太赫兹波扫描成像 运动控制 定位误差 |
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