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| Ni—Cr—Mo—Nb合金的阴极溅射行为 | |
| 引用本文： | 张旭,谢锡善,董建新,徐重,张通和.Ni—Cr—Mo—Nb合金的阴极溅射行为[J].中国有色金属学报,2001,11(2):179-182. |
| 作者姓名： | 张旭 谢锡善 董建新 徐重 张通和 |
| 作者单位： | 1. 北京师范大学 低能核物理研究所, 北京市辐射中心, 2. 北京科技大学 材料科学与工程学院, 3. 太原理工大学 表面工程研究所, |
| 基金项目： | 国家“八六三”计划资助项目(715-008-0050) |
| 摘 要： | 研究了双层辉光放电条件下镍基合金Inconel625的阴极溅射行为，结果表明：多组元镍基合金由于各组元溅射率不同，产生择优溅射现象。Mo,Nb等低溅射率元素在阴极表面富集，Ni,Cr等高溅射率元素在阴极表面贫化，使阴极表面发生相变，形成含Mo,Nb奋斗高的金属间化合物析出相P相和Laves相，随着阴极溅射电压的增加，阴极合金元素溅射率增加；并且随着阴极温度升高，阴极溅射率也随之增加。 |
| 关 键 词： | 双层辉光 阴极溅射 镍基合金 离子渗金属 |
| 文章编号： | 1004-0609(2001)02-0179-04 |
| 修稿时间： | 2000年7月17日 |
Cathode sputtering behavior of Ni-Cr-Mo-Nb alloy |
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| ZHANG Xu,XIE Xi-shan,DONG Jian-xin,XU Zhong,ZHANG Tong-he.Cathode sputtering behavior of Ni-Cr-Mo-Nb alloy[J].The Chinese Journal of Nonferrous Metals,2001,11(2):179-182. | |
| Authors: | ZHANG Xu XIE Xi-shan DONG Jian-xin XU Zhong ZHANG Tong-he |
| Affiliation: | ZHANG Xu 1,XIE Xi shan 2,DONG Jian xin 2,XU Zhong 3,ZHANG Tong he 1 |
| Abstract: | The cathode sputtering of nickel base alloy Inconel 625 was studied in double glow discharge. The results show that the preferential sputtering effect is happened in Ni Cr Mo Nb alloy as the deference of element sputtering rates. The content of lower sputtering rate elements Mo and Nb increases while the higher sputtering rate elements Ni and Cr decrease in the surface layer, and the intermetallic phases P and Laves containing high concentration of Mo and Nb precipitate in surface layer. The sputtering rate increases with the increase of the cathode voltage and the temperature. |
| Keywords: | double glow cathode sputtering nickel base alloy |
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