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Ti-2Al-2.5Zr合金N+离子注入表面XPS和XRD分析
引用本文:王治国,祖小涛,封向东,牟云峰,林理彬,李燕伶,黄新泉.Ti-2Al-2.5Zr合金N+离子注入表面XPS和XRD分析[J].中国有色金属学报,2001,11(Z2):207-210.
作者姓名:王治国  祖小涛  封向东  牟云峰  林理彬  李燕伶  黄新泉
作者单位:1. 四川大学,物理系,辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064
2. 中国核动力研究设计院,核燃料及材料国家重点实验室,成都,610041
摘    要:Ti-2Al-2.5Zr合金中注入能量为75keV的N+离子, 注入剂量为3×1017/cm2和8×1017/cm2, 注入过程样品的温度低于200℃. N+离子在Ti-2Al-2.5Zr合金中的射程借助TRIM 96程序计算为1222. 注入后的样品用X射线衍射方法(XRD)以及光电子能谱方法(XPS)进行分析. XRD衍射谱表明有新相生成, 经分析为TiN和TiO2, 但这些新相的峰非常微弱, 很难区分. XPS宽程扫描谱表明注入后样品表面主要为Ti, C, N和O. XPS关于Ti2p和N1s窄程扫描谱表明N+离子注入后在合金表面确实形成了TiN和TiO2.

关 键 词:Ti-2Al-2.5Zr合金    N+离子注入    XRD    XPS
文章编号:1004-0609(2001)S2-0207-04
修稿时间:2001年7月30日

XPS and XRD investigation on N+ ion implantation into Ti-2Al-2.5Zr alloy
WANG Zhi guo ,ZU Xiao tao ,FENG Xiang dong ,MU Yun feng ,LIN Li bin ,LI Yan ling ,HUANG Xin quan.XPS and XRD investigation on N+ ion implantation into Ti-2Al-2.5Zr alloy[J].The Chinese Journal of Nonferrous Metals,2001,11(Z2):207-210.
Authors:WANG Zhi guo  ZU Xiao tao  FENG Xiang dong  MU Yun feng  LIN Li bin  LI Yan ling  HUANG Xin quan
Affiliation:WANG Zhi guo 1,ZU Xiao tao 1,FENG Xiang dong 1,MU Yun feng 1,LIN Li bin 1,LI Yan ling 2,HUANG Xin quan 2
Abstract:
Keywords:Ti  2Al  2  5Zr alloy  N    ion implantation  XPS  XRD
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