离子镀钛和氮化钛膜的结构与耐蚀性

离子镀技术作为物理气相沉积(PVD)表面改性的一种手段,由于其优良的工艺特性(如处理温度低、沉积速率高及适用范围广等)以及获得的镀膜具有良好的附着性、致密性和均布性而日益得到广泛的应用。如离子镀Ti膜等已作为耐特殊介质腐蚀保护层,离子镀Al_2O_3,SiO_2等镀膜对于抗高温腐蚀有良好效果,TiN涂层具有很好的耐蚀性,又是很好的表面耐磨强化层,也将得到应用。本工作DML-500A型离子镀膜机在抛光的A3钢和18-8(1Cr18Ni8)不锈钢基材上分别沉积Ti和TiN膜,采用室温下极化曲线测定法研究了镀膜工艺(主要是负偏压作用)以及添加微量稀土元素对镀膜结构和耐蚀性的影响。