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| 溅射非晶态硅薄膜光学特性 | |
| 引用本文： | 陈树光,叶贤京,莫党.溅射非晶态硅薄膜光学特性[J].贵金属,1981(4). |
| 作者姓名： | 陈树光 叶贤京 莫党 |
| 作者单位： | 中山大学物理系，中山大学物理系，中山大学物理系 |
| 摘 要： | 作者用自己改装的椭圆偏振光谱仪在可见光范围内研究了射频溅射非晶态硅薄膜的光学性质;提出能同时确定薄膜折射率实数部分n和消光系数K的实验方法;对不同生长条件的薄膜进行测量,获得n与K随λ变化的资料. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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