Ni-5Pt合金在冷轧过程中的结构演变及力学性能(英文) |
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引用本文: | 杨涛,王一晴,闻明.Ni-5Pt合金在冷轧过程中的结构演变及力学性能(英文)[J].贵金属,2018(1). |
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作者姓名: | 杨涛 王一晴 闻明 |
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作者单位: | 贵研金属(上海)有限公司;昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用国家重点实验室; |
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摘 要: | 镍铂合金溅射靶材在半导体工业中用于制备镍铂硅化合物,实现接触和互连的功能。Ni-5Pt合金在冷轧过程中的结构演变及力学性能进行了研究。结果表明,Ni-5Pt合金在冷轧过程中其微观演变为从位错缠结到位错墙,再到含位错墙和小角晶界的拉长亚晶粒,最后形成了具有明锐晶界的拉长晶粒。晶粒细化主要是受位错的聚集、湮灭和重排所导致。Ni-5Pt的显微硬度随着轧制变形量的增加而增加,与强度的变化一致。Ni-5Pt强度的增加可主要归因于冷轧诱导的位错密度增加和晶粒细化效应。
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