| LiPON薄膜结构与电化学性能研究 |
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| 引用本文： | 赵胜利,文九巴,李海涛,秦启宗.LiPON薄膜结构与电化学性能研究[J].材料热处理学报,2005,26(4):17-21. |
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| 作者姓名： | 赵胜利 文九巴 李海涛 秦启宗 |
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| 作者单位： | 河南科技大学材料学院,河南,洛阳,471003;复旦大学激光所,上海,200433 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（20083001）;河南科技大学人才科研基金项目（04015）;河南科技大学青年科研基金项目（2004QN010） |
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| 摘 要： | 采用355nm脉冲激光沉积(PLD)法制备了室温离子电导率为1.6×10-6Scm的LiPON电解质薄膜。用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、傅立叶变换红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)等方法对薄膜的结构和形貌进行表征,讨论了LiPON薄膜的电化学性能与其结构之间的关系。结果表明,该薄膜是一种无针孔、无裂缝、厚度均匀的非晶态结构。N元素插入到Li3PO4中,取代POP和PO3结构中的O使N与P成键形成PN=P或PNPP,增加了薄膜中的网状结构,从而提高了离子电导率。另外,随着N含量增大,LiPON薄膜的室温离子电导率增大。
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| 关 键 词： | LiPON 薄膜 结构 PLD |
| 文章编号： | 1009-6264（2005）04-0017-05 |
| 收稿时间： | 2004-12-20 |
| 修稿时间： | 2004-12-202005-01-31 |
Study on Structure and Electrochemical Properties of LiPON Thin Film |
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| ZHAO Sheng-li,WEN Jiu-ba,LI Hai-tao,QIN Qi-Zong.Study on Structure and Electrochemical Properties of LiPON Thin Film[J].Transactions of Materials and Heat Treatment,2005,26(4):17-21. |
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| Authors: | ZHAO Sheng-li WEN Jiu-ba LI Hai-tao QIN Qi-Zong |
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| Affiliation: | ZHAO Sheng-li~1,WEN Jiu-ba~1,LI Hai-tao~1,QIN Qi-zong~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LiPON thin film structure pulsed laser deposition (PLD) |
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