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热CVD制备定向竹节型碳纳米管生长机制分析
引用本文:李刚,余宗胜,徐先锋.热CVD制备定向竹节型碳纳米管生长机制分析[J].材料热处理学报,2015,36(6).
作者姓名:李刚  余宗胜  徐先锋
作者单位:华东交通大学机电工程学院,江西南昌,330013
摘    要:用热化学气相沉积(CVD)技术,用乙炔为碳源,氮气为载气,氢气为还原气体,氨气为刻蚀气体,在单晶硅上制备出定向竹节型结构碳纳米管薄膜。用透射电镜(TEM),扫描电镜(SEM)的X衍射能量色散能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)分析碳纳米管的精细结构,成分和晶型及结晶度,并对制备的碳纳米管的生长机制进行分析和推测。结果表明:在生长碳纳米管的过程中起催化作用的是金属镍颗粒而不是碳化镍,催化剂颗粒呈不同的形貌存在碳纳米管顶部,并遵循顶端生长方式。

关 键 词:热化学气相沉积  碳纳米管  生长机制  竹节型

Growth mechanism of aligned bamboo-like CNTs prepared by thermal CVD
LI Gang,YU Zong-sheng,XU Xian-feng.Growth mechanism of aligned bamboo-like CNTs prepared by thermal CVD[J].Transactions of Materials and Heat Treatment,2015,36(6).
Authors:LI Gang  YU Zong-sheng  XU Xian-feng
Abstract:
Keywords:thermal CVD  carbon nanotube  growth mechanism  bamboo-like
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