| 微细电化学加工研究新进展 |
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| 引用本文： | 李小海,王振龙,赵万生.微细电化学加工研究新进展[J].电加工与模具,2004(2):1-5. |
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| 作者姓名： | 李小海 王振龙 赵万生 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 结合国内外微细电化学加工技术的最新进展，系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点，例如LIGA工艺、用电化学隧道显微镜(electmchemical STM)的针尖进行纳米级尺寸的电化学加工、用超短脉宽脉冲电压微细电化学加工等。微细电化学在未来的微纳加工中必将大有作为。
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| 关 键 词： | 微细电化学加工 微细加工 LIGA 电化学隧道扫描显微镜 超短电压脉冲 |
| 修稿时间： | 2003年11月22 |
Recent advancement of electrochemical micromachining technology |
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| Li Xiaohai,et al..Recent advancement of electrochemical micromachining technology[J].Electromachining & Mould,2004(2):1-5. |
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| Authors: | Li Xiaohai |
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| Abstract: | Through combining recent advancement of electrochemical micromachining(EMM) technology, this paper summarizes in a systematic way the study situation and process characteristics of EMM, for example, LIGA technology, nanostructuring by the tip of electrochemical STM, electrochemical micromachining with ultrashort voltage pulses and so on. As a micromachining process in the order of micrometer or nanometer, EMM should be a promising technology. |
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| Keywords: | ECM micromachining LIGA electrochemical STM ultrashort voltage pulses |
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