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等离子表面渗、镀设备的功能与应用

作者姓名：	李忠厚潘俊德

作者单位：	青岛滨海学院

摘要：	本文介绍了等离子表面镀膜、渗金属、渗氮和碳氮共渗设备的功能,工作原理,可从事的研究及应用领域。
关键词：	等离子体应用领域设备
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