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| 用二元光学器件实现对CO2激光束的圆形光斑到均匀光强分布的矩形光斑的变换 | |
| 引用本文： | 龙品,尹霄莉,徐大雄,赵杰,崔晓明.用二元光学器件实现对CO2激光束的圆形光斑到均匀光强分布的矩形光斑的变换[J].表面工程,1995(2):34-36. |
| 作者姓名： | 龙品 尹霄莉 徐大雄 赵杰 崔晓明 |
| 作者单位： | [1]北京邮电大学 [2]中国大恒公司激光加工设备厂 [3]北京大学物理系 |
| 摘 要： | 设计并制作了一种具有8个位相级的二元光学器件，将波长为10.6μm CO2激光器输出的圆形光斑变换成均匀光强分布的矩形光斑。器件制作在GaAs基片上，两面镀有光学增透膜，适用于2000W的大功率激光加工系统中。此器件可以根据需要设计成不同规格。 |
| 关 键 词： | 二元光学 激光加工 光束变抉 CO2激光 矩形光斑 |
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