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制备结晶氮化薄膜的方法及装置
摘 要:
本发明是一种制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置。其方法是:在氮气氛下,用脉冲电弧放电方式,将溶液在常压和脉冲电压2~30kV下,诱导电极产生脉冲电弧放电,使溶液电离成含碳、氮的等高于体,冲向并沉积在基板上,制得结晶氮化碳薄膜:该装置设有脉冲电弧放电的机构及高压和电弧产生电路:该机构包括基板和与之相连的电加热器,基板、电加热器和电极位于半密封箱体腔内,基板在电极的下方或四周;设有2条带有控制阀的管道,分别是通氮气和溶液的管道,
关 键 词:
装置
结晶
制备
脉冲电弧放电
氮化碳薄膜
电加热器
放电方式
脉冲电压
基板
氮气氛
溶液
电极
控制阀
通氮气
机构
管道
腔内
箱体
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