| 基于ALD低温制备的纳米涂层刀具性能研究 |
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| 引用本文： | 王睿,唐思文,刘德顺,刘骞,卞凯,李佩真. 基于ALD低温制备的纳米涂层刀具性能研究[J]. 表面技术, 2021, 50(5): 364-371. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.05.041 |
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| 作者姓名： | 王睿 唐思文 刘德顺 刘骞 卞凯 李佩真 |
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| 作者单位： | 湖南科技大学 机械设备健康维护湖南省重点实验室,湖南 湘潭 411201;深海深地矿产资源开发技术与装备教育部工程研究中心,湖南 湘潭 411201 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51305134);湖南省自然科学基金面上项目(2020JJ4308);湖南省研究生科研创新项目(CX20190805);湖南省教育厅资助科研项目(18B230) |
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| 摘 要： | 目的 探索基于原子层沉积法(Atomic Layer Deposition,ALD)的纳米涂层低温制备技术,并重点研究涂层沉积过程及纳米氧化铝涂层对刀具力学性能的影响.方法 利用原子层沉积法,在200℃的环境下制备不同涂层厚度的纳米Al2O3涂层刀具,对涂层的微观组织、厚度、硬度、断裂韧性、断口形貌、弯曲强度、结合力及...
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| 关 键 词： | 刀具 纳米涂层 原子层沉积 低温制备 微观组织 结合力 力学性能 |
| 收稿时间： | 2020-05-25 |
| 修稿时间： | 2020-07-04 |
Research on Performance of Nano-coated Tools Prepared by ALD at Low Temperature |
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| WANG Rui,TANG Si-wen,LIU De-shun,LIU Qian,BIAN Kai,LI Pei-zhen. Research on Performance of Nano-coated Tools Prepared by ALD at Low Temperature[J]. Surface Technology, 2021, 50(5): 364-371. DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.05.041 |
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| Authors: | WANG Rui TANG Si-wen LIU De-shun LIU Qian BIAN Kai LI Pei-zhen |
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| Affiliation: | Hunan Provincial Key Laboratory of Health Maintenance for Mechanical Equipment,Xiangtan 411201, China;Engineering Research Center of Mineral Resources Development Technology and Equipment for Deep Sea and Deep Earth, Ministry of Education, Hunan University of Science and Technology, Xiangtan 411201, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | tool nano-coating atomic layer deposition (ALD) low temperature preparation microstructure binding force mechanical properties |
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