| 磁控反应溅射沉积CrN薄膜的抗氧化性研究 |
| |
| 引用本文： | 李钦虎,王军.磁控反应溅射沉积CrN薄膜的抗氧化性研究[J].表面技术,2005,34(6):40-41,44. |
| |
| 作者姓名： | 李钦虎 王军 |
| |
| 作者单位： | 扬州大学机械工程学院,江苏,扬州,225009;扬州大学机械工程学院,江苏,扬州,225009 |
| |
| 基金项目： | 扬州大学校科研和教改项目 |
| |
| 摘 要： | 通过磁控反应溅射在H1模具钢表面沉积了CrN薄膜.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)观察了试样的表面形貌,进行了物相分析,研究了CrN薄膜的抗氧化性能,讨论了膜层的抗氧化行为和机制.结果表明:在500℃以下,CrN膜层具有良好的抗氧化性,能大大提高基体的抗氧化性能.当温度超过600℃时,由于膜层产生剥落而失去使用性能.
|
| 关 键 词： | 磁控溅射 CrN薄膜 抗氧化性 |
| 文章编号： | 1001-3660（2005）06-0040-02 |
| 收稿时间： | 2005-08-10 |
| 修稿时间： | 2005-08-10 |
Oxidation Resistance of Magnetron Reactive Sputtering CrN Films |
| |
| LI Qin-hu,WANG Jun.Oxidation Resistance of Magnetron Reactive Sputtering CrN Films[J].Surface Technology,2005,34(6):40-41,44. |
| |
| Authors: | LI Qin-hu WANG Jun |
| |
| Affiliation: | School of Mechanical Engineering, Yangzhou University, Yangzhou 225009, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Magnetron sputtering CrN film Oxidation resistance |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
