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| TiN附着膜的应力-应变关系 | |
| 引用本文： | 覃明,嵇宁,汪伟,陈昌荣,李家宝,马胜利.TiN附着膜的应力-应变关系[J].金属学报,2003,39(7):721-724. |
| 作者姓名： | 覃明 嵇宁 汪伟 陈昌荣 李家宝 马胜利 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室，沈阳 110016 2. LM3 ESA CNRS 8006, Ecole Nationale Supérieure D'Arts et Métiers, 151 Bd. de l'Hpital, 75013, Paris, France 3. 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室，西安 710049 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金59931010和50272067 |
| 摘 要： | 利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2．5μm厚的TiN膜．借助X射线应力分析技术和微拉伸设备，测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变，进而求其等效应力-等效单轴应变关系，并由此算得它的条件屈服点σ0．1和σ0．2分别为4．2和4．4GPa，加工硬化指数为0．36．用纳米压痕仪测得其硬度为25GPa，弹性模量为420GPa．TiN膜在拉伸过程中发生了塑性变形． |
| 关 键 词： | TiN膜，双轴应力，应力-应变关系， X射线拉伸实验，纳米压痕法 |
| 文章编号： | 0412-1961(2003)07-0721-04 |
| 修稿时间： | 2002年9月12日 |
Stress-Strain Relationship of a TiN Film Adherent to Substrate |
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| QIN Ming,JI Ning.Stress-Strain Relationship of a TiN Film Adherent to Substrate[J].Acta Metallurgica Sinica,2003,39(7):721-724. | |
| Authors: | QIN Ming JI Ning |
| Abstract: | |
| Keywords: | TiN film biaxial stress stress-strain relation X-ray tensile test nanoindentation |
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