| 非平衡磁控溅射掺Ti类金刚石薄膜的结构分析 |
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| 引用本文： | 聂朝胤,张碧云,谢红梅.非平衡磁控溅射掺Ti类金刚石薄膜的结构分析[J].金属学报,2007,43(11):1207-1210. |
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| 作者姓名： | 聂朝胤 张碧云 谢红梅 |
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| 作者单位： | 1. 西南大学材料科学与工程学院,重庆,400715;日本等离子工学研究所,大阪,573-0128,日本
2. 西南大学材料科学与工程学院,重庆,400715 |
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| 基金项目： | 重庆市自然科学基金
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西南大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用非平衡磁控溅射沉积技术在SCM415渗碳淬火钢基片上沉积了无氢Ti掺杂类金刚石(Ti-DLC)薄膜和无氢高纯类金刚石(DLC)薄膜,通过调节Ti靶的溅射功率使获得的Ti-DLC薄膜Ti含量(原子分数)为1.9%-34%.利用Raman分光光谱仪、XPS,XRD、显微硬度计及纳米划痕仪分析研究了Ti-DLC的组织结构、显微硬度及薄膜附着力.结果表明,利用非平衡磁控溅射得到的Ti-DLC薄膜,在Ti含量小于25%时,Ti-DLC薄膜仍具有类金刚石薄膜的sp2,sp3结构,但Ti的掺杂促进了sp3键向sp2键的转变.掺杂的Ti以TiC纳米晶的形式存在于非晶态的DLC中.掺杂Ti后薄膜的硬度明显降低,而薄膜附着力明显改善;但是当Ti含量超过3%后,薄膜附着力无明显变化,硬度逐渐回升.
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| 关 键 词： | 非平衡磁控溅射 Ti掺杂类金刚石薄膜 微观结构 显微硬度 附着力 非平衡 磁控溅射 类金刚石薄膜 结构分析 MAGNETRON SPUTTERING DLC COATINGS ANALYSIS 回升 变化 改善 显微硬度计 非晶态 存在 纳米晶 转变 结果 薄膜附着力 组织结构 研究 纳米划痕 |
| 文章编号： | 0412-1961（2007）11-1207-04 |
| 修稿时间： | 2007-04-25 |
STRUCTURE ANALYSIS OF Ti-DOPED DLC COATINGS DEPOSITED BY UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING |
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| NIE Chaoyin,ZHANG Biyun,XIE Hongme.STRUCTURE ANALYSIS OF Ti-DOPED DLC COATINGS DEPOSITED BY UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING[J].Acta Metallurgica Sinica,2007,43(11):1207-1210. |
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| Authors: | NIE Chaoyin ZHANG Biyun XIE Hongme |
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| Affiliation: | 1. School of Materials Science and Engineering; Southwest University, Chongqing 400715 ;2. Ion Engineering Research Institute Corporation, Osaka 573-0128, Japan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | unbalanced magnetron sputtering Ti-doped DLC microstructure microhardness adhesion strength |
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