| 大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织 |
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| 引用本文： | 冯钟潮,郭良,梁勇,韩健,侯万良,宁小光.大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织[J].金属学报,1992,28(8):67-71. |
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| 作者姓名： | 冯钟潮 郭良 梁勇 韩健 侯万良 宁小光 |
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| 作者单位： | 中国科学院金属研究所，中国科学院金属研究所，中国科学院金属研究所，中国科学院金属研究所，中国科学院金属研究所，中国科学院金属研究所 副研究员，沈阳(110015) |
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| 摘 要： | 用大功率(kW级)CO_2激光在金属基材上通过化学气相沉积获得α-Si_3N_4膜。膜层多为细小的Si_3N_4颗粒组成,与基材有良好的结合,具有超硬和优良的耐磨抗蚀等性能,厚度在5—30μm范围内可控。
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| 关 键 词： | Si3N4膜 组织结构 硬度 耐磨 LCVD |
| 收稿时间： | 1992-08-18 |
| 修稿时间： | 1992-08-18 |
PERFORMANCE AND MICROSTRUCTURE OF SUPERHARD Si_3N_4 FILM BY HIGH POWER CO_2 LASER CVD |
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| FENG Zhongchao,GUO Liang,LIANG Yong,HAN Jian,HOU Wanliang,NING Xiaoguang.PERFORMANCE AND MICROSTRUCTURE OF SUPERHARD Si_3N_4 FILM BY HIGH POWER CO_2 LASER CVD[J].Acta Metallurgica Sinica,1992,28(8):67-71. |
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| Authors: | FENG Zhongchao GUO Liang LIANG Yong HAN Jian HOU Wanliang NING Xiaoguang |
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| Affiliation: | FENG Zhongchao,GUO Liang,LIANG Yong,HAN Jian,HOU Wanliang,NING Xiaoguang (Institute of Metal Resarch,Academia Sinica,Shenyang) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser chemical vapour deposition Si_3N_4 film microstructure hardness wear resistance corrosion resistance |
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