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| CH_4离子束增强沉积对TiC薄膜显微硬度的影响机制SCIEI | |
| 引用本文： | 刘长洪,李文治.CH_4离子束增强沉积对TiC薄膜显微硬度的影响机制SCIEI[J].金属学报,1994,30(7):B318-B322. |
| 作者姓名： | 刘长洪 李文治 |
| 作者单位： | 1.清华大学; |
| 摘 要： | 研究了双离子束沉积ＴｉＣ薄膜的形成．离子束反应溅射膜的显微硬度比ＣＨ_４高子束增强沉积膜的显微硬度高．ＸＰＳ，ＴＥＭ和ＡＥＳ分析表明后者硬度低的一个重要原因是ＣＨ_４离子束轰击引入过量的自由碳原子． |
| 关 键 词： | 碳化钛薄膜 离子束沉积 硬度 |
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