| 内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究 |
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| 引用本文： | 金凡亚,王珂,赵嘉学,沈丽如,陈庆川,童洪辉.内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究[J].金属热处理,2008,33(8). |
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| 作者姓名： | 金凡亚 王珂 赵嘉学 沈丽如 陈庆川 童洪辉 |
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| 作者单位： | 核工业西南物理研究院,四川,成都,610041 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型等离子体增强化学气相沉积内表面复合处理系统.利用此系统沉积TiN涂层的结果表明,φ100 mm×1000 mm 316不锈钢管内表面沉积涂层相对均匀,且具有较好的表面特性和机械特性.
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| 关 键 词： | 等离子体增强化学气相沉积 管状样品 内表面 |
PECVD system for treating the inner surface of tube sample |
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| JIN Fan-ya,WANG Ke,ZHAO Jia-xue,SHEN Li-ru,CHEN Qing-chuan,TONG Hong-hui.PECVD system for treating the inner surface of tube sample[J].Heat Treatment of Metals,2008,33(8). |
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| Authors: | JIN Fan-ya WANG Ke ZHAO Jia-xue SHEN Li-ru CHEN Qing-chuan TONG Hong-hui |
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