| 溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究 |
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| 引用本文： | 李莺,张卫华,赵高扬.溶胶凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的热处理工艺研究[J].金属热处理,2005,30(Z1):266-269. |
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| 作者姓名： | 李莺 张卫华 赵高扬 |
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| 作者单位： | 西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048 |
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| 基金项目： | 国家重大基础研究前期研究专项(2003CCA03300),陕西省教育厅纳米专项(02J N1-2)资助和陕西省自然科学研究基金资助(2004E1 02). |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶工艺,以醋酸钡,氯化锶,钛酸丁酯为原料制备了Ba0.8Sr0.2TiO3溶胶,利用提拉法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上制备BST薄膜,采用XRD衍射分析仪系统研究了不同热处理条件下制备的BST薄膜的晶相结构.结果表明热处理温度在600℃以上时,BST薄膜形成了较为完整的ABO3钙钛矿结构,且随热处理温度升高,热处理时间的延长,晶体生长沿(110)的取向性越好,结晶状况明显改善.
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| 关 键 词： | BST 溶胶-凝胶 热处理工艺 XRD衍射分析 |
Study on Heat Treatment Technique of Barium Strontium Titanate Thin Films Prepared by Sol-Gel Method |
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| Li Ying,Zhang Wei-Hua,Zhao Gao-Yang.Study on Heat Treatment Technique of Barium Strontium Titanate Thin Films Prepared by Sol-Gel Method[J].Heat Treatment of Metals,2005,30(Z1):266-269. |
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| Authors: | Li Ying Zhang Wei-Hua Zhao Gao-Yang |
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